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壓力傳感器基板
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1.特點(diǎn) 1) 通孔圓度高 2) 無(wú)崩邊、無(wú)裂紋 3) 鍵合性能強(qiáng) 2.應(yīng)用 壓力傳感器晶圓級(jí)可鍵合基板 3.產(chǎn)品結(jié)構(gòu) 該壓力傳感器基板采用玻璃作為基體，通過(guò)第三代TGV技術(shù)結(jié)合壓力芯片尺寸規(guī)格進(jìn)行通孔制作，形成晶圓級(jí)可鍵合TGV玻璃基板。 4.產(chǎn)品參數(shù)
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