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（1）發(fā)明了一種可光刻玻璃介電損耗控制方法。建立中和堿效應、壓制效應和穩(wěn)定效應與介電損耗的協(xié)同關系，實現(xiàn)了可光刻玻璃介電損耗有效減小。

（2）發(fā)明了超快激光精準誘導玻璃相變，實現(xiàn)超細孔徑的玻璃通孔形成技術。玻璃最小孔徑9μm，通孔密度最大250000 cm-2。

（3）突破傳統(tǒng)通孔填充深徑比限制，實現(xiàn)最大深徑比達50:1的超高深徑比玻璃通孔實心金屬化，解決了信號連續(xù)性問題，攻克了TGV工程化難題。


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